量测范围 |
1000 X 1200 X 200 mm ( X,Y, Z ) |
解析读数 |
0.001mm in 3 Axes |
量测软件 |
QC-5300-VED-CNC-AUTOFOCUS + WIN-XP |
计算机硬件 |
PC + 17" Color Monitor |
影像系统 |
1/3" COLOR CCD + ZOOM |
放大倍率 |
10X-100X ( Option of Cozxial Light ) |
表面灯源 |
WHITE LED ( Option of Coaxial Light ) |
轮廓底光 |
Green LED |
量测精度 |
U1= 5 + L/200um ; U2=6 + L/150um |
重复精度 |
0.003mm |
驱动方式 |
DC Servo Motors + Joystick 220mm/sec |
传动方式 |
气浮式 |
操作方式 |
程控 |
花岗岩平台 |
DIN. 876. 0 GRADE ( Glass 1090 × 1330 mm ) |
工作限高 |
200 mm |
工作限重 |
30 kgs |
外型尺寸 |
200 X 220 X 180 cm (Including BASE STAND) |
机器重量 |
2950 kgs |
选购配备 |
程控调光或倍率调整 |
选购配备 |
Renishaw Scale 0.5um or 0.1um |