量测范围

1200 X 1500 X 200 mm ( X,Y,Z )

解析读数

0.001mm in 3 Axes ( 三轴 )

量测软件

QC-5300-VED-CNC-AUTOFOCUS + WIN-XP

计算机硬件

PC + 17" Color Monitor

影像系统

1/3" COLOR CCD + ZOOM

放大倍率

10X ... 100X ( Option 20X ~ 200X )

表面灯源

WHITE LED ( Option of Coaxial Light )

轮廓底光

Green LED

量测精度

U1= 5 + L/200um ; U2= 6 + L/150um

重复精度

0.003mm

驱动方式

DC Servo Motors + Joystick 220mm/sec

传动方式

气浮式

操作方式

程控

花岗岩平台

DIN. 876. 0 GRADE
( Glass 1290 × 1630 mm )

工作限高

200 mm

工作限重

30 kgs

外型尺寸

215 X 260 X 180 cm ( Including Base Stand )

机器重量

3500 kgs

选购配备

程控调光或倍率调整

选购配备

Renishaw Scale 0.5um or 0.1um

选购配备

伺服马达驱动