量测范围

600 X 600mm ( X,Y)

解析读数

0.001mm ( 三轴 )

量测软件

QC-5300-VED-CNC-AUTOFOCUS + WIN-XP

计算机硬件

PC + 17" Color Monitor

影像系统

1/3" COLOR CCD + ZOOM

放大倍率

10X ... 100X ( Option 20X ~ 200X )

表面灯源

WHITE LED ( Option of Coaxial Light )

轮廓底光

Green LED

量测精度

U1 = 3 + L / 200 um ; U2 = 5 + L / 150 um

重复精度

0.003mm

驱动方式

Servo Motors + Joystick 150mm/sec

传动方式

无牙螺杆 + 线性滑轨

操作方式

程控

花岗岩平台

DIN. 876, 0 GRADE ( Glass 635 X 635 mm 放置面积)

工作限高

200 mm

工作限重

30 kgs

外型尺寸

230 X 170 X 170 cm ( Including Deluxe Table)

机器重量

1350 kgs

选购配备

程控调光或倍率调整